Termiyonik vakum ark ile üretilen InGaAsN ince filmlerin bazı fiziksel özellikleri

Simple item page
dc.contributor.authorKorkmaz, Şadan
dc.date.accessioned2020-08-17T05:20:01Z
dc.date.available2020-08-17T05:20:01Z
dc.date.issued2017-07-20
dc.description.abstractBu çalışmada InGaAsN ince filmler ilk defa farklı bir teknik olan Termiyonik Vakum Ark (TVA) tekniği ile üretilmiştir. InGaAsN ince filmler üretilirken TVA üretim parametreleri belirlenmiştir. İnce filmler üç farklı alt taş üzerine gerçekleştirilmiştir. Bunlar cam, Si ve Polietilen tereftalat (PET) alt taş malzemedir. Üretilen ince filmlerin XRD analizleri ile kristal yapıları aydınlatılmaya çalışılmıştır. Yüzey bileşenleri için EDX analizi kullanılmıştır. Filmlerin yüzey oluşumları atomik kuvvet mikroskobu ile görüntülendi. UV-Vis spektrofotometresi ile elde edilen soğurma değerlerinden ise yapıların yasak enerji aralıkları değerleri incelenmiştir. Sonuçlara göre, farklı alt taşlar üzerine farklı atomik bileşimler elde edilmiştir.tr_TR
dc.description.abstractIn this paper, InGaAsN thin films were deposited by Thermionic Vacuum Arc (TVA) for the first time. Deposition parameters were determined. These films were grown on different type substrate material. These are glass, Si and poly Polyethylene terephthalate (PET) materials. Crystal structures of the produced samples were investigated by XRD analysis of the produced samples. Atomic concentrations of the deposited samples were investigated by EDX. The surface properties of the films were imaged by atomic force microscopy. Band gap values were calculated by optical method from the absorbance spectra of the UV-Vis spectrophotometer. According to obtained results, different atomic ratios were detected.en_US
dc.identifier.citationKorkmaz, Ş. (2017). "Termiyonik vakum ark ile üretilen InGaAsN ince filmlerin bazı fiziksel özellikleri". Uludağ Üniversitesi Mühendislik Fakültesi Dergisi, 22(2), 121-128.tr_TR
dc.identifier.endpage128tr_TR
dc.identifier.issn2148-4147
dc.identifier.issn2148-4155
dc.identifier.issue2tr_TR
dc.identifier.startpage121tr_TR
dc.identifier.urihttps://dergipark.org.tr/tr/download/article-file/338654
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11452/12245
dc.identifier.volume22tr_TR
dc.language.isotrtr_TR
dc.publisherUludağ Üniversitesitr_TR
dc.relation.journalUludağ Üniversitesi Mühendislik Dergisi / Uludağ University Journal of The Faculty of Engineeringtr_TR
dc.relation.publicationcategoryMakale - Uluslararası Hakemli Dergitr_TR
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen_US
dc.subjectInGAsNtr_TR
dc.subjectYüzey özellikleritr_TR
dc.subjectOptik özelliklertr_TR
dc.subjectİnce filmtr_TR
dc.subjectInGaAsNen_US
dc.subjectSurface propertiesen_US
dc.subjectOptical propertiesen_US
dc.subjectThin filmen_US
dc.titleTermiyonik vakum ark ile üretilen InGaAsN ince filmlerin bazı fiziksel özellikleritr_TR
dc.title.alternativeSome physical properties of the InGaAsN thin films deposited by thermionic vacuum arcen_US
dc.typeArticleen_US

Files

Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
22_2_11.pdf
Size:
1.11 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
Name:
license.txt
Size:
1.71 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description:
Download

Collections

2017 Cilt 22 Sayı 2